Chip bán dẫn là bộ phận thiết yếu trong hầu hết các thiết bị điện tử hiện nay, từ điện thoại, máy tính đến các hệ thống xe tự lái. Quy trình sản xuất chip bán dẫn đòi hỏi công nghệ cao và độ chính xác tuyệt đối. Dưới đây là các bước chính trong quy trình sản xuất, hoặc bạn có thể tìm hiểu chi tiết hơn tại bài viết này.
### 1. Lựa chọn và xử lý tấm wafer
Wafer là những tấm silicon siêu mỏng, được chế tạo từ các tinh thể silicon nguyên chất. Silicon sẽ được nấu chảy và cắt thành các tấm wafer. Sau khi tạo ra wafer, bề mặt của nó sẽ được xử lý để đảm bảo sạch và phẳng, tạo điều kiện tốt nhất cho các bước xử lý tiếp theo.
### 2. Quá trình quang khắc
Trong bước này, lớp vật liệu cảm quang (photoresist) được phủ lên bề mặt wafer, sau đó đưa qua quá trình quang khắc để tạo hình các vi mạch trên đó. Bằng cách sử dụng ánh sáng cực tím (UV) chiếu qua mặt nạ mẫu, các chi tiết mạch sẽ được in lên lớp photoresist, tạo nên bản thiết kế sơ khai của chip.
### 3. Ăn mòn và bồi đắp lớp
Các vùng trên wafer không được bảo vệ bởi lớp photoresist sẽ bị ăn mòn hoặc được phủ thêm một lớp chất dẫn để tạo ra các mạch điện mong muốn. Quá trình này diễn ra nhiều lần với các lớp chất liệu khác nhau, giúp tạo ra cấu trúc 3D của vi mạch.
### 4. Cấy ion
Ở bước này, các nguyên tử ion sẽ được cấy vào wafer để tạo tính dẫn điện cho các vùng nhất định. Quá trình này giúp điều chỉnh tính chất bán dẫn của từng phần trên chip, đảm bảo hiệu suất hoạt động của các mạch điện.
### 5. Kiểm tra và cắt
Khi wafer hoàn thành tất cả các bước xử lý, các chip trên đó sẽ được kiểm tra chất lượng, đảm bảo không có lỗi. Sau đó, wafer được cắt thành các chip nhỏ, mỗi chip sẽ là một phần của các thiết bị điện tử.
### 6. Đóng gói và kiểm tra lần cuối
Mỗi chip sẽ được đóng gói để bảo vệ và kết nối với các mạch bên ngoài. Cuối cùng, các chip được kiểm tra lần cuối để đảm bảo chất lượng và hiệu suất trước khi xuất xưởng.
Quy trình sản xuất chip bán dẫn yêu cầu kỹ thuật tinh vi và quy trình kiểm tra nghiêm ngặt để đáp ứng tiêu chuẩn chất lượng cao. Để tìm hiểu chi tiết hơn về từng công đoạn này, bạn có thể tham khảo tại
https://haanhtech.com/quy-trinh-san-xuat-chip-ban-dan/
